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plasma CVD (PECVD) - procesos que utilizan CVD de plasma. para mejorar la tasa de reacción química de los precursores[2] procesamiento PECVD permite la…23 kB (3001 palabras) - 17:06 19 dic 2023
técnicas convencionales de deposición de a-Si a baja temperatura, como el PECVD, en contraposición al recocido por láser o los procesos de CVD a alta temperatura…4 kB (573 palabras) - 18:17 5 abr 2023
estudio de películas delgadas basadas en materiales amorfos depositadas por PECVD a baja temperatura y la fabricación de celdas solares sobre substratos flexibles…20 kB (2303 palabras) - 19:15 20 may 2024
dispositivos, el NF3 también se utiliza ampliamente para limpiar las cámaras de PECVD. EL NF3 se disocia más fácilmente en una descarga a baja presión que los…10 kB (1302 palabras) - 07:12 2 ene 2024
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y estequiométrico) y también óxidos (LTO, PSG, BSG, BPSG), oxinitruros PECVD, así como metales de película delgada para aumentar la calidad predictiva…22 kB (2877 palabras) - 20:10 23 may 2024
