Archivo:EUV Best Focus vs Pitch.png
Tamaño de esta previsualización: 800 × 512 píxeles. Otras resoluciones: 320 × 205 píxeles · 640 × 410 píxeles · 907 × 581 píxeles.
Ver la imagen en su resolución original (907 × 581 píxeles; tamaño de archivo: 258 kB; tipo MIME: image/png)
Resumen
| Descripción |
English: The best focus varies as a strong function of pitch under the same (quasar) illumination (0.33 NA). At 36 nm pitch, horizontal and vertical darkfield features have more than 30 nm difference of focus. The 34 nm pitch and 48 nm pitch features have the largest difference of best focus regardless of feature type. |
| Fecha | |
| Fuente | public domain, IMEC EUVL 2018 Workshop: https://www.euvlitho.com/2018/P62.pdf |
| Autor | Guiding light |
Licencia
Guiding light de Wikipedia en inglés, titular de los derechos de autor de esta obra, la publica en los términos de las siguientes licencias:
|
Se autoriza la copia, distribución y modificación de este documento bajo los términos de la licencia de documentación libre GNU, versión 1.2 o cualquier otra que posteriormente publique la Fundación para el Software Libre; sin secciones invariables, textos de portada, ni textos de contraportada. Se incluye una copia de la dicha licencia en la sección titulada Licencia de Documentación Libre GNU. |
Este archivo está disponible bajo la licencia Creative Commons Attribution-Share Alike 4.0 International.
Atribución: Guiding light de Wikipedia en inglés
- Eres libre:
- de compartir – de copiar, distribuir y transmitir el trabajo
- de remezclar – de adaptar el trabajo
- Bajo las siguientes condiciones:
- atribución – Debes otorgar el crédito correspondiente, proporcionar un enlace a la licencia e indicar si realizaste algún cambio. Puedes hacerlo de cualquier manera razonable pero no de manera que sugiera que el licenciante te respalda a ti o al uso que hagas del trabajo.
- compartir igual – En caso de mezclar, transformar o modificar este trabajo, deberás distribuir el trabajo resultante bajo la misma licencia o una compatible como el original.
Puedes usar la licencia que prefieras.
Registro original de carga
Aquí se muestra la página de descripción original. Los siguientes nombres de usuario se refieren a en.wikipedia.
| Fecha y hora | Dimensiones | Usuario | Comentario |
|---|---|---|---|
| 2018-07-27 19:42:45 | 907 × 581 | Guiding light | New information |
| 2017-05-04 12:55:13 | 1079 × 458 | Guiding light | Uploading a self-made file using [[Wikipedia:File_Upload_Wizard|File Upload Wizard]] |
Historial del archivo
Haz clic sobre una fecha y hora para ver el archivo tal como apareció en ese momento.
| Fecha y hora | Miniatura | Dimensiones | Usuario | Comentario | |
|---|---|---|---|---|---|
| actual | 04:05 15 dic 2018 | | 907 × 581 (258 kB) | OgreBot | (BOT): Reverting to most recent version before archival |
| 04:05 15 dic 2018 |  | 1079 × 458 (32 kB) | OgreBot | (BOT): Uploading old version of file from en.wikipedia; originally uploaded on 2017-05-04 12:55:13 by Guiding light | |
| 03:29 15 dic 2018 |  | 907 × 581 (258 kB) | I love rpgs | Transferred from en.wikipedia (MTC!) (1.1.0) |
Usos del archivo
La siguiente página usa este archivo:
